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来源：格隆汇
格隆汇7月12日丨晶盛机电(300316.SZ)于2023年7月11日-12日接受机构调研，交流环节中，就“请公司简要介绍新产品8英寸碳化硅外延设备性能及其优势”
公司回复称，公司成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备，引领国内碳化硅行业技术升级。目前公司在8英寸衬底基础上，已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，已达到行业领先水平，这是公司在第三代半导体设备领域的又一次重要技术突破。
8英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面积更大，未来通过产量和规模效益的提升，成本有望降低60%以上。公司的8英寸单片式碳化硅外延生长设备，可为行业提供更为先进的技术支持，推动碳化硅行业的快速发展。
