卓海科技公布“一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法”专利

天眼查APP显示，近日，无锡卓海科技股份有限公司申请的“一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法”专利公布。 摘要显示，本发明实施例公开了一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法。该晶圆缺陷检测装置，包括光源、散射光收集模块、信号采集分析模块。光源产生的探测光线以预设入射角θ3照射向待测晶圆，探测光线在照射到待测晶圆后发生散射形成散射光线，其中0＜θ3＜90°。散射光收集模块用于屏蔽散射光线中散射角处于第一预设角度范围内的光线，并收集散射光线中散射角位于第二预设角度范围内的光线。信号采集分析模块用于将散射光收集模块收集的散射光线转换为电信号，并对电信号进行分析以识别待测晶圆表面的缺陷信息。本发明实施例通过过滤晶圆表面的漫反射光干扰，提升了缺陷检测的准确性和可靠性，进而解决了晶圆表面的漫反射光干扰缺陷检测的问题。