富乐德公布“一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置”专利

天眼查APP显示，近日，安徽富乐德科技发展股份有限公司申请的“一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置”专利公布。 摘要显示，本发明属于半导体技术领域，具体而言，涉及一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置，公开了一种名为“一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置”的清洗工艺及装置，旨在解决现有TiN膜层清洗不均匀、腐蚀基材、污染环境及操作安全差的问题。其特征在于，采用含氟硼酸铵、过氧化氢等化学清洗液，辅以超声波活化、多级浸泡、漂洗和高压水洗，并通过自动化机械臂及中央控制系统实现精确清洗。本发明可实现沉积物彻底、均匀、无损清洗，显著提升效率，降低成本，延长设备寿命，确保操作安全与环境友好。