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芯源微公布“半导体设备供液系统”专利

天眼查APP显示,近日,沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的“半导体设备供液系统”专利公布。 摘要显示,本发明提供了一种半导体设备供液系统,包括胶瓶、供气管路、药液缓存瓶以及药液驱动装置,药液缓存瓶通过单一连接管路与所述胶瓶连通,连接管路上设置有第一通断阀以及出液传感器,药液缓存瓶包括至少两个腔室,每个腔室均与药液缓存瓶的进液端连通,每个腔室均具有出液端,出液端均连接有供胶管路,供胶管路用于与工艺端连接,药液驱动装置设置于供胶管路上,用于从所述出液端抽取液体供应到工艺端。该半导体设备供液系统减少了通断阀、传感器元器件的使用数量和系统占用空间,控制逻辑更为简单、可靠,而且从物理上消除了产生憋压和回流的条件,提高了系统运行的稳定性和可靠性。

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