海目星公布“一种无接触电致发光检测的自动追距方法及系统”专利

天眼查APP显示，近日，海目星激光科技集团股份有限公司申请的“一种无接触电致发光检测的自动追距方法及系统”专利公布。 摘要显示，本发明公开了一种无接触电致发光检测的自动追距方法及系统，自动聚焦模块的激光束经过显微物镜打在Micro?LED芯片上，光斑形态被成像到传感器上，根据当前焦点位置相对于最佳焦点的偏移距离及偏移方向，实时控制EL探头与显微物镜同步沿Z轴方向移动，保证显微物镜到Micro?LED芯片的距离，且达到实时保证EL探头与Micro?LED芯片间距的目的，解决了不同视野采集的图像亮度一致性差的问题。 （：贺